重慶原子力顯微鏡一種可用來研究包括絕緣體在內(nèi)的固體材料表面結構的分析儀器。它通過檢測待測樣品表面和一個微型力敏感元件之間的極微弱的原子間相互作用力來研究物質(zhì)的表面結構及性質(zhì)。
重慶原子力顯微鏡的特點:
1.高分辨力能力遠遠超過掃描電子顯微鏡(SEM),以及光學粗糙度儀。樣品表面的三維數(shù)據(jù)滿足了研究、生產(chǎn)、質(zhì)量檢驗越來越微觀化的要求。
2.非破壞性,探針與樣品表面相互作用力為10-8N以下,遠比以往觸針式粗糙度儀壓力小,因此不會損傷樣品,也不存在掃描電子顯微鏡的電子束損傷問題。另外掃描電子顯微鏡要求對不導電的樣品進行鍍膜處理,而原子力顯微鏡則不需要。
3.應用范圍廣,可用于表面觀察、尺寸測定、表面粗糙測定、顆粒度解析、突起與凹坑的統(tǒng)計處理、成膜條件評價、保護層的尺寸臺階測定、層間絕緣膜的平整度評價、VCD涂層評價、定向薄膜的摩擦處理過程的評價、缺陷分析等。
4.軟件處理功能強,其三維圖象顯示其大小、視角、顯示色、光澤可以自由設定。并可選用網(wǎng)絡、等高線、線條顯示。圖象處理的宏管理,斷面的形狀與粗糙度解析,形貌解析等多種功能。
與常規(guī)顯微鏡比較,重慶原子力顯微鏡的優(yōu)點是在大氣條件下,以高倍率觀察樣品表面,可用于幾乎所有樣品(對表面光潔度有一定要求),而不需要進行其他制樣處理,就可以得到樣品表面的三維形貌圖象。并可對掃描所得的三維形貌圖象進行粗糙度計算、厚度、步寬、方框圖或顆粒度分析。